Étape 3: La diffusion pompe
La partie plus intégrante de ce système est la pompe à diffusion, utilisée pour augmenter la dépression peuvent atteindre des niveaux plus loin que des moyens mécaniques. Une ébauche, les palettes général US pompe tire le vide brut initial nécessaire dans la chambre et la pompe de la diffusion et la pompe de diffusion puis active comme la deuxième étape, augmentant le niveau de vide final.
Cette pompe de diffusion spécifique fonctionne sur le principe de diffusion de l’huile pour extraction de molécule de gaz, qui dans le fond de la pompe à diffusion, huile est bouilli et la vapeur voyages vers le haut de la cheminée, et la vapeur est éjectée dehors pour capturer les molécules de gaz autant que possible et a tiré vers le bas, vers la sortie de la pompe pour acheminer le gaz vers la pompe à vide mécanique. Maintenant, nous ne voulons pas de cette huile éclaboussures dans la chambre principale, donc il y a une chicane refroidi par liquide utilisée pour refroidir et condenser l’huile avant il peut pénétrer dans l’hémicycle.
Pour s’accoupler cette japonaise pompe faite à la chambre standard de bride CF, j’avais besoin à l’ingénieur une plaque d’adaptation en alu. J’ai utilisé une machine CNC à l’usine sur une plaque de MIC-6 toolplate pour garder une surface parfaitement plane, comme le joint torique accouplement de surface doit être parfaitement plane, tout en soutenant le poids de la pompe et de la chambre.